Fotolithografie: So funktioniert ein Wafer-Stepper
Historisches Beispiel aus dem Buch; keine Aussage zum heutigen Stand der Technik.
Ein ultravioletter Lichtstrahl (UV-Licht) durchleuchtet die Maske und projiziert das Layout der Schaltung auf den Wafer. Eine Optik aus zahlreichen Linsen verkleinert das Lichtbild der Schaltung, so dass es scharf und in der richtigen Größe auf dem Wafer erscheint.
Kapitel 5, Seite 271
Das Modell ist nicht gestartet. Es werden keine Unity-Dateien geladen.
Das Modell erkunden
Historisches Unity-Modell für Desktop-Browser mit WebGL. Beim Start werden etwa 40 MB geladen.
Die alten Modelle sind nicht vollständig barrierefrei. Auf Smartphones und Tablets kann die Darstellung oder Bedienung eingeschränkt sein. Vorschau und Beschreibung bleiben ohne Player nutzbar.
Zum Starten des 3D-Modells bitte JavaScript aktivieren.
Bedienung und Grenzen
Kamera bewegen: In das gestartete Modell klicken und mit gedrückter linker Maustaste ziehen. Die Reaktion kann je nach Modell unterschiedlich ausfallen. Hinweise und Bedienelemente im Modell gehören zur unveränderten historischen Anwendung; ihre Texte können auch auf Englisch erscheinen.
Mit „3D-Modell beenden“ oder Escape lässt sich der Player schließen. Für einen neuen Start werden die Laufzeitdateien erneut angefordert; der Browser kann sie zwischenspeichern. Die Beschreibung oben ist die zugängliche Alternative zum Canvas, keine vollständige Abbildung aller interaktiven Funktionen.