Physikalische Schichtabscheidung: Sputteranlage
Historisches Beispiel aus dem Buch; keine Aussage zum heutigen Stand der Technik.
Sputteranlagen sind Clustertools. Um ein wabenförmiges Zentrum, in dem ein Zentralroboter steckt, gruppieren sich Kammern, in denen der eigentliche Sputtervorgang stattfindet. Hat der Zentralroboter die Siliziumscheibe in einer Kammer abgelegt, erzeugen die Chiphersteller dort zunächst ein Vakuum. Dann leiten sie das Edelgas Argon (Ar) in die Kammer, um daraus die »Munition« für den atomaren Beschuss der Opferplatte zu gewinnen.
Kapitel 5, Seite 298
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Historisches Unity-Modell für Desktop-Browser mit WebGL. Beim Start werden etwa 44 MB geladen.
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Bedienung und Grenzen
Kamera bewegen: In das gestartete Modell klicken und mit gedrückter linker Maustaste ziehen. Die Reaktion kann je nach Modell unterschiedlich ausfallen. Hinweise und Bedienelemente im Modell gehören zur unveränderten historischen Anwendung; ihre Texte können auch auf Englisch erscheinen.
Mit „3D-Modell beenden“ oder Escape lässt sich der Player schließen. Für einen neuen Start werden die Laufzeitdateien erneut angefordert; der Browser kann sie zwischenspeichern. Die Beschreibung oben ist die zugängliche Alternative zum Canvas, keine vollständige Abbildung aller interaktiven Funktionen.